【太陽電池パネル製造装置】基板ステージ＆構造部品、チャンバー

昇温機構への加工事例

太陽電池パネル製造装置では、昇温機構としてキセノンランプが使用されています。

キセノンランプは、電極の表面に光を与えたり、電極に熱を与えることで、電子の電離と励起を引き起こし放電を行います。

このため、キセノンランプに対して研磨加工を施すことで、反射効果を高めることができます。

これにより、昇温速度と安定性を向上させることができます。

太陽電池パネル製造装置の内部では、基板ステージの面内を均一な粗さ制御することにより、真空性能を向上させています。

この粗さ制御加工により、基板ステージが加工硬化し、その結果、対傷性も向上します。

太陽電池パネル製造装置のチャンバー接続開閉部分へショットピーニングを行った事例です。

このショットピーニングにより、チャンバー接続開閉部分を加工硬化し、耐摩耗性や表面硬度を向上させることができます。

太陽電池パネル製造装置の薄型ステージ部品では、表面粗さが不均一だとそりが生じる可能性があります。

そこで、ブラスト加工を行い、表面粗さを均一化することで、面内均一性を向上させています。

また、この加工により、部品の表面強度も向上させることができます。

薄型ステージ部品は面内均一性が高いため、その表面は吸着性が強くなります。また、熱拡散率も高くなっています。

こちらは、太陽電池パネル製造装置の重要部品の粗さを部分的に変えることで、部分ごとに別の特性を付加した事例です。

太陽電池パネル製造装置のステンレス部品に対して研削加工を行うことで、ステンレスの表面に付着している黒皮を除去し、平滑性を向上させることができます。

この研削加工により、部品の表面はきれいになり、その結果、装置の平常性が向上します。

平滑な表面を持つ部品は、より美しい外観や意匠性を実現することができます。

また、黒皮の除去により、装置内部の真空度も向上させることができます。

なぜなら、黒皮は気密性に影響を与えることがあり、除去することで真空状態を保ちやすくなるからです。

研削加工によるステンレス部品の平滑化は、太陽電池パネル製造装置の性能や品質を向上させる重要な要素となります。