半導体製造装置内部のシャワープレートへの表面機能性付加加工事例 シャワープレートとは真空チャンバーの中でガスを噴出するためのコンマレベルの小さな穴が開いたプレートの事です。 ガスが流れて反応が起きる際には、 … 続きを読む 【半導体製造装置】シャワープレート＆内部部品＆外部カバー＆セラミックス内部部品洗浄事例